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Laboratorio de Fabricación de Dispositivos Fotónicos

  • Laboratorio de Fabricación de Dispositivos Fotónicos

Descripción:

En este laboratorio se realiza la fabricación de dispositivos fotónicos y optoelectrónicos basados en estructuras complejas a escalas micro y nano-métricas. El desarrollo de estos dispositivos se basa en tecnología planar de microelectrónica y electrónica flexible que incluye técnicas de depósito de películas delgadas, procesos de fotolitografía, grabado húmedo y seco en sustratos de polímero y silicio. Los desarrollos de este laboratorio están enfocados en brindar soluciones en distintas áreas de investigación como en energía, salud y telecomunicaciones dando la posibilidad de ofrecer aplicaciones a la industria o usuarios externos.

Técnicas:

Fotolitografía por medio de mascarillas, depósito de películas delgadas, grabados/ataques húmedos y secos.

Equipo:

  • Alineadora de mascaras
  • Ataque o grabado seco
  • Bahías de ácidos, bases y solventes
  • Pulverización catódica
  • Depósito de capas atómicas
  • Evaporación mediante cañón de electrones
  • Centrífuga para depósito
  • Baño de ultrasonido
  • Parrillas digitales con agitadores
  • Hornos de alta temperatura atmosfera controlada

Responsables del laboratorio:

Dr. Gerardo Gutierrez Heredia
Teléfono: 4414200 ext. 376
Edificio: H
Ubicación: Puerta

Última actualización: 8 de junio de 2018